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エキシマ & UVレーザーミラー、ウインドウ TELEDYNE Acton Optics
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2波長 UV/エキシマ レーザーミラー Teledyne Acton Optics
Teledyne Acton Optics
レーザーグレードの基板に電子ビームで蒸着された特殊な多層誘電体コーティングにより、高エネルギーのエキシマレーザーやUVレーザーの波長を最大限に反射し、さらに特定の可視レーザーの波長で50%以上の反射率を同じミラーで実現しています。
標準的なミラーは、Nd:YAGレーザーの高調波およびエキシマ/HeNeレーザーの反射鏡として設計されています。これらのミラーは、レーザー高調波発生やエキシマ・アライメントのアプリケーションのための2波長反射を可能にします。アクトンは、248nm、308nm、353nmのエキシマ波長と266nm（下記）の標準45°ミラーを用意しています。
Dual Wavelength UV/Excimer Laser Mirrors
| Wavelength | Angle of Incidence | 248nm % R |
633nm % R |
1.0" Part Numbers | 2.0" Part Numbers |
|---|---|---|---|---|---|
| 248/633nm | @ Near Normal Incidence | ≥ 97% | ≥ 80% | M248/633-FR-1D-MB | M248/633-FR-2D-MB |
| 248/633nm | @ 45° AOI | ≥ 97% | ≥ 80% | M248/633-FR45-1D-MB | M248/633-FR45-2D-MB |
| 266/633nm | @ Near Normal Incidence | ≥ 97% | ≥ 80% | M266/532-FR-1D-MB | M266/532-FR-2D-MB |
| 266/532nm | @ 45° AOI | ≥ 97% | ≥ 80% | M266/532-FR45-1D-MB | M266/532-FR45-2D-MB |
| 308/633nm | @ Near Normal Incidence | ≥ 97% | ≥ 80% | M308/303-FR-1D-MB | M308/633-FR-2D-MB |
| 308/633nm | @ 45° AOI | ≥ 97% | ≥ 80% | M308/633-FR45-1D-MB | M308/633-FR45-2D-MB |
| 353/633nm | @ Near Normal Incidence | ≥ 98% | ≥ 80% | M353/633-FR-1D-MB | M353/633-FR-2D-MB |
| 353/633nm | @ 45° AOI | ≥ 98% | ≥ 80% | M353/633-FR45-1D-MB | M353/633-FR45-2D-MB |
