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エキシマ & UVレーザーミラー、ウインドウ TELEDYNE Acton Optics

センサー用メタクロームUV変換コーティング Teledyne Acton Optics

Teledyne Acton Optics
 

前面照射CCD、フォトダイオードリニアアレイ、および一部のCMOSデバイスを含む多くの検出器は、UVスペクトル領域での量子効率に欠けています。Acton Opticsは、これらのデバイスの表面に薄いコーティングを効果的、確実、かつ安価に提供し、120〜430nmの範囲でデバイスの感度を劇的に向上させます。

Metachrome®は、青色可視および紫外線(UV)波長でのCCDの感度を向上させる複合蛍光体コーティングです。CCDの表面にメタクロームの薄いコーティングを適用すると、120〜430nmの範囲でデバイスの感度が劇的に向上します。前面照射型と裏面照射型の両方のCCDは、メタクロームコーティングを使用してUV応答を改善します。

 

光学特性

メタクロームは、450 nm未満の光で励起されると、約540〜580nmの光を放出します。Metachromeの高い変換効率と、発光波長でのCCDの高い量子効率を組み合わせることで、Metachromeはシリコン検出器の理想的なUV「ダウンコンバーター」になります。460 nmを超えると、メタクロームの薄層が透明になるため、可視および近赤外でのCCDの量子効率に悪影響を及ぼしません。

前面照射されたCCDは、350 nm未満では実質的に応答がなく、通常、400 nm(青色の可視範囲)で5%未満の量子効率が観察されます。メタクロームコーティングを使用すると、この同じCCDは350 nm未満で10%の量子効率を示します。裏面照射型CCDもメタクロームコーティングの恩恵を受けています。メタクロームコーティングを使用すると、量子効率は250nmで10倍以上向上します。メタクロームコーティングは、スペクトルの赤色部分でのパフォーマンスの低下が少ないため、裏面照射型CCDで最高の広帯域UV反射防止コーティングの優れた代替品を提供します。


ルモゲンEでコーティングされたCCDの典型的な量子効率

メタクロームでコーティングされたCCDの空間分解能

空間分解能に対するメタクロームコーティングの影響を判断するために測定を実行しました。20 µmの正方形ピクセルを持つコーティングされたCCDとコーティングされていないCCDのコントラスト伝達関数を比較したところ、同一であることがわかりました。


 

Acton Opticsの検出器UVエンハンスメントサービスの範囲は次のとおりです。

検出器ウィンドウの取り外し
顧客提供の検出器へのMetachrome™コーティングアプリケーション
部分的な検出器の表面コーティング
お客様の仕様に合わせたコーティング層の厚さ制御
お客様の仕様に合わせた検出器テストサービス
窓付きのフィッティング検出器
ポストルモゲンコーティング操作用のUV溶融石英窓の交換

 

Acton Opticsは、次のようなターンキーコーティングされた標準シリコンセンサーを提供できます。

東芝1304
Sony ILX 511、511B、および554



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