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エキシマ & UVレーザーミラー、ウインドウ TELEDYNE Acton Optics

エキシマ & UVレーザーミラー　Teledyne Acton Optics


Teledyne Acton Optics

ACTON全製品カタログ　ダウンロード　40ページ　PDF

エキシマ＆UVレーザーミラー

当社のエキシマおよびUVレーザーミラーは、高エネルギーのエキシマレーザー用に設計された多層誘電体コーティングミラーです。これらのコーティングは、高いダメージ閾値の要求を満たしながら、優れた反射率をもたらします。40年以上のエキシマコーティングの設計・開発経験を持つアクトンは、お客様のスペクトル、偏光、アプリケーションの要求に合わせてコーティングを設計することができます。当社は、ビームターンミラーと通常の入射ミラーの在庫を保有しており、お客様の施設に迅速にお届けします。
エキシマレーザ用光学部品は大量生産が可能であり、価格競争力があります。また、高度な訓練を受けた技術者とクリーンルーム施設を利用して、すぐに設置できる光学アセンブリを提供することもできます。

https://www.actonoptics.com/products/excimer-laser-optics　このサイトからコーティングカーブを見る事が出来ます。

UV & エキシマ レーザーミラー　スタンダードのパーツ番号

NI=垂直入射(入射角0°)    　45°AOI =入射角45°

波長 反射率 ％ 直径1.0インチ 直径2.0インチ
126nm ≥55％@ NI M126-FR-1D-MB M126-FR-2D-MB
≥50％@ 45°AOI M126-FR45-1D-MB M126-FR45-2D-MB
147nm ≥75％@ NI M147-FR-1D-MB M147-FR-2D-MB
≥70％@ 45°AOI M147-FR45-1D-MB M147-FR45-2D-MB
157nm ≥89％@ NI M157-FR-1D-MB M157-FR-2D-MB
≥87％@ 45°AOI M157-FR45-1D-MB M157-FR45-2D-MB
172nm ≥93％@ NI M172-FR-1D-MB M172-FR-2D-MB
≥90％@ 45°AOI M172-FR45-1D-MB M172-FR45-2D-MB
193nm e ≥98％@ NI M193-FRe-1D-MB M193-FRe-2D-MB
≥97％@ 45°AOI M193-FR45e-1D-MB M193-FR45e-2D-MB
193nm XL ≥97％@ NI M193-FRXL-1D-MB M193-FRXL-2D-MB
≥96％@ 45°AOI M193-FRXL45-1D-MB M193-FRXL45-2D-MB
248nm ≥98％@ NI M248-FR-1D-MB M248-FR-2D-MB
≥97％@ 45°AOI M248-FR45-1D-MB M248-FR45-2D-MB
308nm ≥98％@ NI M308-FR-1D-MB M308-FR-2D-MB
≥97％@ 45°AOI M308-FR45-1D-MB M308-FR45-2D-MB
353nm ≥99％@ NI M353-FR-1D-MB M353-FR-2D-MB
≥98％@ 45°AOI M353-FR45-1D-MB M353-FR45-2D-MB

Acton Optics UV / Excimerコーティングの主な利点：
◉ 最高のダメージしきい値
◉ 最長の寿命
◉ 多種多様なコーティングが利用可能
◉ すべてのエキシマ波長：157nm、193nm、248nm、308nm、353nm

Acton Optics UV / Excimerコーティングの主な用途： 
⦿ エキシマレーザー視力矯正システム（LASIK）
⦿ 半導体レーザーおよび計測システム
⦿ 材料処理アプリケーション

 

193nm e-Design Approach 　193nm e-デザイン・アプローチ

High Fluence - Low Rep. Rate　高フルエンス・低繰り返し率

約200Hzの繰り返し周波数を必要とするアプリケーションのために設計されたe-デザイン（参照：193-FR45e）は、電界強度（EFI）の補正を次のレベルに引き上げ、EFIのピークを複数の層に配置・分散させることで、スタック内の単一の層における強度を低減します。このアプローチにより、EFIによるダメージの影響を軽減し、レーザーダメージに対する耐性を高め、コーティングの寿命を延ばすことができます。

 

193nm XL-Design Approach 　193nm XLデザイン・アプローチ

Low Fluence - High Rep. Rate　低フルエンス-高繰返し率

XLデザイン（参照：193-XL45）は、ハイブリッド構造とバランスのとれたストレスを組み合わせたもので、4～5kHzの繰り返し周波数を必要とするアプリケーションに適しています。
4～5 kHzの応答速度を必要とするアプリケーションのために、ハイブリッド構造とバランスのとれた応力を組み合わせています。これにより、微小欠陥や熱応力破壊による壊滅的なダメージの可能性を最小限に抑え、高繰り返し動作による脱水症状を防ぐことができます。反射率は193nmで96-97％、位相差はお客様のご要望に応じて最適化できます。この堅牢なUVコーティングは、MIL-SPECの接着試験、耐摩耗試験、湿度試験に合格しています。

 




 

 
Nd：YAGハイブリッドレーザーミラー

ACTONの「ハイブリッド」355nm Nd:YAGコーティングは、高出力、高繰り返しに対応できるコーティングを実現するために、コーティングの蒸着とプロセスコントロールに関する豊富な専門知識を兼ね備えています。これらのコーティングは、15.27J/cm2のレーザー損傷しきい値テストに100kHzまでの繰り返しで耐えており、0°入射および45°入射に対応しています。

355nmレーザーミラー

  ％R 波長 1.0 "部品番号 2.0 "部品番号 ダメージ
しきい値
355 nm @0°入射 99.9％ 355nm M355-FR-HY-1D-MB M355-FR-HY-2D-MB > 15 J / cm2 *
355 nm @ 45°入射 ≥99％ 355nm M355-FR45-HY-1D-MB M355-FR45-HY-2D-MB > 15 J / cm2 *

*最大100kHzの繰り返しレート







 

2波長レーザーミラー

レーザーグレードの基板に電子ビームで蒸着された特殊な多層誘電体コーティングにより、高エネルギーのエキシマレーザーやUVレーザーの波長を最大限に反射し、さらに特定の可視レーザーの波長で50%以上の反射率を同じミラーで実現しています。 
 
標準的なミラーは、Nd:YAGレーザーの高調波およびエキシマ/HeNeレーザーの反射鏡として設計されています。これらのミラーは、レーザー高調波発生やエキシマ・アライメントのアプリケーションのための2波長反射を可能にします。アクトンは、248nm、308nm、353nmのエキシマ波長と266nm（下記）の標準45°ミラーを用意しています。

デュアル波長UV /エキシマレーザーミラー

波長 入射角 248nm
％R		 633nm
％R		 直径1.0 インチ部品番号 直径2.0 インチ部品番号
248 / 633nm @ほぼ0°入射 ≥97％ ≥80％ M248 / 633-FR-1D-MB M248 / 633-FR-2D-MB
248 / 633nm @ 45°入射 ≥97％ ≥80％ M248 / 633-FR45-1D-MB M248 / 633-FR45-2D-MB
266 / 633nm @ほぼ0°入射 ≥97％ ≥80％ M266 / 532-FR-1D-MB M266 / 532-FR-2D-MB
266 / 532nm @ 45°入射 ≥97％ ≥80％ M266 / 532-FR45-1D-MB M266 / 532-FR45-2D-MB
308 / 633nm @ほぼ0°入射 ≥97％ ≥80％ M308 / 303-FR-1D-MB M308 / 633-FR-2D-MB
308 / 633nm @ 45°入射 ≥97％ ≥80％ M308 / 633-FR45-1D-MB M308 / 633-FR45-2D-MB
353 / 633nm @ほぼ0°入射 ≥98％ ≥80％ M353 / 633-FR-1D-MB M353 / 633-FR-2D-MB
353 / 633nm @ 45°入射 ≥98％ ≥80％ M353 / 633-FR45-1D-MB M353 / 633-FR45-2D-MB



 
VUV / UVレーザービームスプリッター

この多層構造の誘電体・低吸収膜は、レーザー出力カプラーやビームスプリッター用途に最適です。126 nmから353 nmまでの全波長域のビームスプリッターは、高出力レーザー用途で優れた性能を発揮するように、指定されたレーザー波長と入射角で反射率と透過率が校正されています。標準的なビームスプリッターは、ランダム偏光用に設計されています。
ACTON OPTICSは、水平 "P "偏光や垂直 "S "偏光など、お客様のご要望に応じてビームスプリッターをカスタム設計いたします。必要に応じて、ビームスプリッターの後面に反射防止コーティングを施すことも可能です。コーティングは、ACTONの標準的な基板に施すことができます。

VUV / UVレーザービームスプリッター

波長 10％+ /-2％ 30％+ /-5％ 50％+ /-5％ 70％+ /-5％ 90％+ /-5％
126nm M126-P1045 M126-P3045 M126-P5045 M126-P7045 M126-P9045
147nm M147-P1045 M147-P3045 M147-P5045 M147-P7045 M147-P9045
157nm M157-P1045 M157-P3045 M157-P5045 M157-P7045 M57-P9045
172nm M172-P1045 M172-P3045 M172-P5045 M172-P7045 M172-P9045
193nm M193-P1045 M193-P3045 M193-P5045 M193-P7045 M93-P9045
248nm M248-P1045 M248-P3045 M248-P5045 M248-P7045 M248-P9045
266nm M266-P1045 M266-P3045 M266-P5045 M266-P7045 M266-P9045
308nm M308-P1045 M308-P3045 M308-P5045 M308-P7045 M308-P9045
353nm M353-P1045 M353-P3045 M353-P5045 M353-P7045 M353-P9045

 
ダイクロイックミラー

UV / VISダイクロイックミラー

UV / VISダイクロイックミラーには、特殊な多層誘電体コーティングが施されているため、広帯域VIS / NIR透過率が良好な一次UVレーザー波長の反射が可能です。ダイクロイックミラーは通常、ビームの結合またはビームの分離に使用されます。以下にリストされている標準のダイクロイックミラーは、UVレーザーグレードの溶融石英基板を備えており、45°での使用に最適化されています。他の角度もご要望に応じてご利用いただけます。145nmから約355nmまでの他のUV反射波長も利用できます。


UV / IRダイクロイックミラー
UV / IRダイクロイックミラーは、UVレーザーの波長を反射し、波長を赤外線に透過するように設計されています。これらのコーティングは、特別高品質のCaF上に堆積させた誘電体多層設計、電子ビーム修正される2基板を。当社のUV / IRダイクロイックミラーは、以下に指定されたUV波長を反射し、使用可能な透過率は約8 µmです。
 

UV / VISダイクロイックミラー - 標準のフューズドシリカ ミラーブランク

UV波長 45°入射反射率 直径1.0 "（25.4mm） 直径1.5 "（38.1mm） 直径2.0 "（50.8mm）
193nm ≥94％ 193 / V-FR45-1D-MB 193 / V-FR45-1.5D-MB 193 / V-FR45-2D-MB
212nm ≥95％ 212 / V-FR45-1D-MB 212 / V-FR45-1.5D-MB 212 / V-FR45-2D-MB
248nm ≥96％ 248 / V-FR45-1D-MB 248 / V-FR45-1.5D-MB 248 / V-FR45-2D-MB
266nm ≥96％ 266 / V-FR45-1D-MB 266 / V-FR45-1.5D-MB 266 / V-FR45-2D-MB
308nm ≥96％ 308 / V-FR45-1D-MB 308 / V-FR45-1.5D-MB 308 / V-FR45-2D-MB
353nm ≥98％ 353 / V-FR45-1D-MB 353 / V-FR45-1.5D-MB 353 / V-FR45-2D-MB

UV / IRダイクロイックミラー - CaF2基板

UV波長 45°入射反射率 直径1.0 "（25.4mm） 直径1.5 "（38.1mm） 直径2.0 "（50.8mm）
193nm ≥94％ 193 / IR-FR45-1D-FLC 193 / IR-FR45-1.5D-FLC 193 / IR-FR45-2D-FLC
212nm ≥95％ 212 / IR-FR45-1D-FLC 212 / IR-FR45-1.5D-FLC 212 / IR-FR45-2D-FLC
248nm ≥96％ 248 / IR-FR45-1D-FLC 248 / IR-FR45-1.5D-FLC 248 / IR-FR45-2D-FLC
266nm ≥96％ 266 / IR-FR45-1D-FLC 266 / IR-FR45-1.5D-FLC 266 / IR-FR45-2D-FLC
308nm ≥96％ 308 / IR-FR45-1D-FLC 308 / IR-FR45-1.5D-FLC 308 / IR-FR45-2D-FLC
353nm ≥98％ 353 / IR-FR45-1D-FLC 353 / IR-FR45-1.5D-FLC 353 / IR-FR45-2D-FLC


UV狭帯域ARコーティング ウインドウ

ACTONの狭帯域反射防止膜は、耐久性のある電子ビーム蒸着された誘電体で、通常はコーティングされていない基板の表面から発生する反射を最小限に抑えるように設計されています。これらの低吸収コーティングは、レンズの透過率を高めたり、ビームスプリッターの第二表面反射を抑えるのに適しています。反射防止膜は、レーザーダメージへの耐性に優れ、高出力での使用に適しています。
標準的な "V-type "反射防止膜は、126 nmから353 nmまでの特定の波長に対応しています。

エキシマレーザー-狭帯域反射防止コーティング ウインドウ

波長 1 インチ 2インチ ％反射率 0°入射
126nm M126-2AR-1D-FL M126-2AR-2D-FL ≤0.5％@ 126nm
147nm M147-2AR-1D-FL M147-2AR-2D-FL ≤0.5％@ 147nm
157nm M157-2AR-1D-FL M157-2AR-2D-FL ≤0.5％@ 157nm
172nm M172-2AR-1D-FL M172-2AR-2D-FL ≤0.3-0.5％@ 172nm
193nm M193-2AR-1D-FL M193-2AR-2D-FL ≤0.3-0.5％@ 193nm
248nm M248-2AR-1D-FL M248-2AR-2D-FL ≤0.2-0.5％@ 248nm
308nm M308-2AR-1D-FL M308-2AR-2D-FL ≤0.2-0.5％@ 308nm
353nm M353-2AR-1D-FL M353-2AR-2D-FL ≤0.2-0.5％@ 353nm





 
ブロードバンドARコーティング ウィンドウ

UVブロードバンド反射防止膜は、耐久性に優れた電子ビーム蒸着型の誘電体で、コーティングされていない表面で発生する反射を最小限に抑えるように設計されています。
この低吸収コーティングは、レンズの透過率を高めたり、ビームスプリッターの第2表面反射を低減するのに最適です。また、耐レーザー性にも優れているため、高出力レーザーの使用にも適しています。以下は、当社が提供するコーティングおよびコーティングされた窓の一例です。また、V型反射防止膜も取り扱っています。

 

UVレーザー-ブロードバンド反射防止コーティング

波長 ％反射率　0°入射
355-532-1064nm 波長あたり0.5％以下
400-800nm ≤平均0.5％




 

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