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コンパクト ナノポジショナー Piezoconcept
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Z-STAGE Z-ステージ ナノポジショナー
Z-STAGEは、高速機能を備えたコンパクトなZダイレクトドライブナノポジショナーです。 ＳＰＭ３またはＳＰＭ３ＬＲを得るために、６６×６６ｍｍの開口部（ＬＦ２ ／ ＬＦＨＳ２）を有する２軸ナノポジショナーと組み合わせることができる。 Zステージは、5、10、25、または50µmの可動範囲で提供できます。
このナノポジショナーは、当社の高速製品ラインの一部です（ハイパワーコントローラもあります）。
特徴
・高速、ダイレクト ドライブ
・移動範囲 5μｍ 10μｍ 25μｍ 50μｍ
・クローズ ループ制御
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズ フロア 10pm以下
応用
・AFM Zスキャナー
・カシミル フォース研究
・高速Zスキャニング
・ナノインデンテーション
仕様 :
| 単位 | Z-STAGE.5 | Z-STAGE.10 | Z-STAGE.25 | Z-STAGE.50 | |
| 移動範囲 | (µm) | 5 | 10 | 25 | 50 |
| 分解能 | (nm) | 0,005 | 0,01 | 0,025 | 0,05 |
| ノイズ フロア(typical) | (nm) | 0,0005 | 0,001 | 0,0025 | 0,005 |
| フルレンジ再現性 | (nm) | 0,01 | 0,02 | 0,05 | 0,1 |
| 線形化 (typical) | 0,02% | 0,02% | 0,02% | 0,02% | |
| 共振周波数 | (Hz) | 12 500 | 5 200 | 5 500 | 3 500 |
| 剛性 | (N/µm) | 40,1 | 7,5 | 7,7 | 2,7 |
| 最大荷重* : | |||||
| – 水平 | (kg) | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
| – 垂直 (最大トルク) | (N.m) | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 |
| センサー | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | |
| サイズ Ø x H | (mm) | Ø30 x 29,8 | Ø30 x 29,8 | Ø30 x 49,8 | Ø30 x 69,8 |
| 材料 | Al | Al | Al | Al | |
| ケーブル長 | (m) | 2 | 2 | 2 | 2 |
| コントローラー | Standard or High Speed | Standard or High Speed | Standard or High Speed | Standard or High Speed |
*要求により高い負荷
使用例
LT2.100に埋め込まれたZ-STAGE.5
2段重ねのHS1.50アパーチャ上のZ-STAGE.50
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手動Microstage上のZ-STAGE.50を備えたLFHS2（SPM3を参照）
HS1 ナノポジショナー
HS1はコンパクトなナノポジショナーで、組み合わせて2軸または3軸のナノポジショニングシステムを形成することができます。 それは10、30、50、70または100μmの可動域で提供されます、そして、それは同じく開口で提案されることができます（HS1-開口付きナノポジショナー参照）。
このナノポジショナーは、当社の高速製品ラインの一部です（ハイパワーコントローラもあります）。
特徴
・高速、ダイレクト ドライブ
・重ね合わせ可能 XY XYZ
・10μｍ 30μｍ 50μｍ 70μｍ 100μｍ
・クローズループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズ フロア 10pm以下
応用
・干渉
・ナノリソグラフィー
・3D 重合
・高速フォーカス
・補償光学
仕様 :
| 単位 | HS1.10 | HS1.30 | HS1.50 | HS1.70 | HS1.100 | |
| 移動の範囲 | (µm) | 10 | 30 | 50 | 70 | 100 |
| 分解能 | (nm) | 0,01 | 0,03 | 0,05 | 0,07 | 0,1 |
| ノイズフロア(typical) | (nm) | 0,001 | 0,003 | 0,005 | 0,007 | 0,01 |
| フルレンジ再現性 | (nm) | 0,02 | 0,06 | 0,1 | 0,14 | 0,2 |
| 線形化 (typical) | 0,02% | 0,02% | 0,02% | 0,02% | 0,02% | |
| 共振周波数 | (Hz) | 7000 | 4000 | 4000 | 4000 | 1500 |
| 剛性 | (N/µm) | 5,2 | 3 | 3 | 3 | 1,1 |
| 最大荷重* : | ||||||
| – 水平 | (kg) | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| – 垂直 | (kg) | 0,5 | 0,5 | 0,5 | 0,5 | 0,5 |
| センサー | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | |
| サイズ W x L x H | (mm) | 62,5 x 69,50 x 12,6 | 62,5 x 69,50 x 12,6 | 62,5 x 89,50 x 12,6 | 62,5 x 111,50 x 12,6 | 62,5 x 111,50 x 12,6 |
| 材料 | Al | Al | Al | Al | Al | |
| ケーブル長 | (m) | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| コントローラー | Standard or High Speed | Standard or High Speed | Standard or High Speed | Standard or High Speed | Standard or High Speed |
*要求により大きい負荷
使用例
RAMM顕微鏡に使用したHS1.70
2個のHS1.30 （2軸）アセンブリ
高速フォーカシング用ブラケット付きHS1.30
HS1H ナノポジショナー 開口付き
HS1Hは、2軸または3軸のナノ位置決めシステムを形成するために組み合わせることができるコンパクトなナノ位置決め装置です。 30、50、70、または100μmの可動域を提供し、33 mmの中心口径を持つため、光学顕微鏡アプリケーションに最適です。 ダイレクトドライブ構造のため、特にステップ応答が速いです。
このナノポジショナーは、当社の高速製品ラインの一部です（ハイパワーコントローラもあります）。
特徴
・高速、ダイレクト ドライブ
・重ね合わせ可能 XY またはXYZ
・中心の穴の直径 33 mm
・30μｍ 50μｍ 70μｍ
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズ フロア 10pm以下
応用
・干渉計
・ナノリソグラフィー
・3D 重合
・高速フォーカス
・補償光学
仕様:
| 単位 | HS1H.30 | HS1H.50 | HS1H.70 | HS1H.100 | |
| 可動範囲 | (µm) | 30 | 50 | 70 | 70 |
| 分解能 | (nm) | 0,03 | 0,05 | 0,07 | 0,07 |
| ノイズフロア(typical) | (nm) | 0,003 | 0,005 | 0,007 | 0,007 |
| フルレンジ再現性 | (nm) | 0,06 | 0,1 | 0,14 | 0,14 |
| 線形 (typical) | 0,02% | 0,02% | 0,02% | 0,02% | |
| 共振周波数 | (Hz) | 4000 | 4000 | 4000 | 1500 |
| 剛性 | (N/µm) | 3 | 3 | 3 | 3 |
| 最大荷重* : | |||||
| – 水平 | (kg) | 1 | 1 | 1 | 1 |
| – 垂直 | (kg) | 0,5 | 0,5 | 0,5 | 0,5 |
| シリコン | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | |
| サイズ W x L x H | (mm) | 62,5 x 96,1 x 12,6 | 62,5 x 116,1 x 12,6 | 62,5 x 138,1 x 12,6 | 62,5 x 138,1 x 12,6 |
| 材料 | Al | Al | Al | Al | |
| ケーブル長 | (m) | 2 | 2 | 2 | 2 |
| コントローラー | Standard or High Speed | Standard or High Speed | Standard or High Speed | Standard or High Speed |
*要求により大きい負荷
TT1.5 チルト ナノポジショナー
TT 1は、5または10 mradの可動範囲を持つ1軸ステージ（シータ）です。 TT1は、光ビームステアリングが必要な用途に最適なツールです。 これにより、この高速ステージは、粒子追跡、光ピンセット、ビーム安定化、走査型顕微鏡などの用途に最適なものとなります。
このナノポジショナーは、当社の高速製品ラインの一部です（ハイパワーコントローラもあります）。 ハイパワーコントローラと併用すると、500Hzの高速スキャンと2ms未満のステップ応答時間が可能です。
特徴
・超高速
・5mrad. θ
・クローズループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズフロア 1nrad. 以下
応用
・ビーム安定化
・パーティクル トラッキング
・高速ビーム ステアリング
・共焦点顕微鏡
・光ピンセット
・TERS
仕様 :
| 単位 | TT1.5 | TT1.10 | ||
| 可動範囲 | (mrad) | 5 | 5 | |
| 分解能 | (µrad) | 0,005 | 0,01 | |
| ノイズフロア(typical) | (µrad) | 0,0005 | 0,001 | |
| フルレンジ再現性 | (µrad) | 0,01 | 0,02 | |
| 線形 (typical) | 0,02% | 0,02% | ||
| 共振周波数 | (Hz) | 2000 | 1200 | |
| 剛性 | (N/µm) | N/A | N/A | |
| 最大荷重* : | ||||
| – 水平 | (kg) | 0,5 | 0,5 | |
| – 垂直 | (kg) | 0,2 | 0,2 | |
| センサー | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | ||
| サイズ W x L x H | (mm) | 51 x 63,5 x 17,8 | 51 x 63,5 x 17,8 | |
| 材料 | Al | Al | ||
| ケーブル長 | (m) | 2 | 2 | |
| コントローラー | Standard or High Speed | Standard or High Speed |
*要求により大きい負荷
CX.100 X軸ナノポジショナー
CX.100は、Xに沿って100μmの動作を提供する、安価でコンパクトなリニアナノポジショナーです。そのコンパクトなデザインは、多くのフォトニクスおよびファイバーポジショニングアプリケーションに理想的なツールです。
必要に応じて、Y軸またはY-Z軸を使用することもできます（2軸モデルC2.100および3軸モデルC3.100を参照）。
特徴
・コンパクト デザイン
・100μｍ Xモーション
・クローズループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズフロア 10pm以下
応用
・アライメント
・レーザー書き込み
・2光子重合
・共焦点顕微鏡
・3Dプリンター
仕様 :
| 単位 | CX.100 | |||
| 動きの範囲 | (µm) | 100 | ||
| 分解能 | (nm) | 0,1 | ||
| ノイズフロア(typical) | (nm) | 0,01 | ||
| フルレンジ再現性 | (nm) | 0,2 | ||
| 線形 (typical) | 0,02% | |||
| 共振周波数 | (Hz) | 400 | ||
| 剛性 | (N/µm) | 0,3 | ||
| 最大荷重* : | ||||
| – 水平 | (kg) | 0,5 | ||
| – 垂直 | (kg) | 0,1 | ||
| センサー | Silicon HR sensor | |||
| サイズ W x L x H | (mm) | 48,5 x 48,5 x 21,3 | ||
| 材料 | Al – SS | |||
| ケーブル長 | (m) | 2 | ||
| コントローラー | Standard |
*要求により大きい負荷
CZ.100 Z軸ナノポジショナー
CZ.100は、Zに沿って100μmの動きを提供する1軸のコンパクトなZナノポジショナーです。そのコンパクトなデザインは、3Dイメージング、Zスタック、オートフォーカス、レーザー書き込みアプリケーションなどのアプリケーションに理想的なツールです。
必要に応じてX-Y軸でも提案できます（3軸モデルC3.100を参照）。
特徴
・コンパクト デザイン
・Z軸 100μｍ
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズフロア 10pm以下
応用
・アライメント
・レーザー書き込み
・2光子重合
・共焦点顕微鏡
・3Dプリンター
| 単位 | CZ.100 | |||
| 動きの範囲 | (µm) | 100 | ||
| 分解能 | (nm) | 0,1 | ||
| ノイズフロア(typical) | (nm) | 0,01 | ||
| フルレンジ再現性 | (nm) | 0,2 | ||
| 線形 (typical) | 0,02% | |||
| 共振周波数 | (Hz) | 450 | ||
| Stiffness | (N/µm) | 0,3 | ||
| 最大荷重* : | ||||
| – 水平 | (kg) | 0,5 | ||
| – 垂直 | (kg) | 0,1 | ||
| センサー | Silicon HR sensor | |||
| サイズ W x L x H | (mm) | 48,5 x 48,5 x 25,7 | ||
| 材料 | Al – SS | |||
| ケーブル長 | (m) | 2 | ||
| コントローラー | Standard |
*要求により大きい負荷
FOCHS.100
FOCHS.100は、顕微鏡対物高速ナノポジショニング専用の管状デザインピエゾ電圧です。 100ミクロンの移動量で提供されます。 FOCHS.100は、Zスタック、レーザー加工、オートフォーカスなど、幅広い用途に使用されています。 それは自動焦点安定化装置（我々が提供することができる）と一緒にも働くことができます。 それはアルミニウム、鋼鉄および真鍮から作られています。 ピコメーターレベルで安定性を提供するセンサーを装備しています。
真鍮のマウントリングは、FOCHS.100ナノポジショナーでほとんどすべての対物レンズを使用できるように簡単に交換できます。 利用可能なスレッドは、RMS、M25、M26、M27、およびM32です。
特徴
・移動範囲 100μｍ
・高速
・サブnmの分解能で対物レンズを移動
・平行屈曲ガイド
・クローズ ループ コントロール
・シリコン センサー テクノロジー
・ノイズフロア 10pm以下
応用
・干渉
・オートフォーカス装置
・3Dイメージング
・共焦点顕微鏡
・半導体計測
仕様 :
| 単位 | FOCHS.100 | |
| 動きの範囲 | (µm) | 100 |
| 分解能 | (nm) | 0,1 |
| ノイズフロア(typical) | (nm) | 0,01 |
| フルレンジ再現性 | (nm) | 0,2 |
| 線形 | 0,02% | |
| 共振周波数 | (Hz) | 1 175 |
| 剛性 | (N/µm) | 3,5 |
| 最大荷重* : | ||
| – 水平 | (kg) | 0,5 |
| – 垂直 | (kg) | 0,5 |
| センサー | Silicon HR sensor | |
| サイズ Diameter x H | (mm) | Ø 65,5 x 50,3 |
| 材料 | Al | |
| カーブル長 | (m) | 2 |
| コントローラー | High Speed |
*要求により大きい負荷