メタオプティクスとメタサーフェスの認定

SID4-HR：メタオプティクスの完全な光学的特性評価のための強力で用途の広いツール

メタレンスなどの光学アプリケーションのメタサーフェスは、刺激的で有望なテクノロジーです。それらの小型、大規模な製造の容易さ、およびコスト効率は、多くの業界にわたる複数の光学アプリケーションに革命をもたらします。
Phasics独自の波面センサー機能を活用して、メタサーフェスを構成するナノ構造を制御および測定します。また、光学機能、イメージング品質、または単にメタオプティクスの出力での波面形状を測定できます。
 

▽ナノ構造検査測定セットアップ

Phasics定量位相カメラは標準的な光学顕微鏡に取り付けられています。メタサーフェスサンプルがインストールされ、古典的な顕微鏡観察として画像化されます。強度画像に加えて、Phasicsのソフトウェアはナノ構造によって生成された位相特徴を定量的に出力します。

▽光学機能測定設定

Phasics SID4-HR波面センサーは、発散ビームのメタレンズ焦点の数ミリメートル後に配置されます。1回の収集で、波面、PSF、およびMTFが計算されます。

測定例

　　

メタレンズの光学機能　　　　　　　    MetalensPSFおよびMTF　　　　　　高度なテスト：位相プロファイル、焦点計算、位相渦

利点

用途の広いテクノロジー 

• 波面測定
• イメージング品質：PSFとMTFをワンショットで
• メタサーフェス構造の測定

強力な機能

• 高解像度
• 非常に敏感
• 再現性が高い

堅牢なアプローチ

• 標準顕微鏡と互換性があります
• 統合が簡単
• ナノメートル位相分解能

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