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オプティカニクス総合取扱製品
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ピエゾ(圧電素子)アクチュエータ / 駆動電源 

ピエゾ ミラー シフター STr  Piezomechanik GmbH


Piezomechanik Dr. Lutz Pickelmann GmbH
 

オプトメカニクス用ピエゾミラーシフター STr

◉干渉計などのミラーのような拡張光学部品を高精度に動かすための、取り付けが容易なØ25mmおよびØ35mmのショートストロークピエゾアクチュエータ。
◉多くのオプトメカニクスキットとの互換性があります。

ピエゾ ミラー シフター STr-25
 
 

圧電ミラーシフターは,ミラーやその他の光学部品の超微細な軸方向の位置決めを,重いステージなどの外部ガイド機構を使わずに行うための装置です。
圧電ミラーシフターは、内部にプリロードをかけているため、共振周波数が高く、ステージなどの従来の配置に比べて、動特性や安定性に優れています。
圧電ミラーシフターは、主に干渉法やホログラフィーのようなコヒーレント光学系で使用され、例えば、サブミクロンレンジの分解能で表面形状を測定するための位相シフト装置などに使用されます。
ピエゾ式ミラーシフターの取り付けは、以下の方法で行います。
⦿ ミラーマウントに取り付けるためのアダプターリングを使用
⦿ 背面のタップ穴を使用
⦿ 円周部でクランプします。

シフターにミラーを取り付けるには、ミラーサポートや光学アダプターを使用します。
ミラーサポートSTは、ミラーを接着するための平らなねじ込み式のキャップです。
オプティックアダプターSAは、特に1/2ミラーと1ミラーの交換を容易にするためのものです。
ミラーシフターは、対応するデータシートに記載されている標準的なアンプで駆動されます。シフターの全ストロークを使用しないアプリケーションでは、より低い出力電圧の電源を使用することが合理的です。通常、このような電子機器は高い出力電流を示し、その結果、シフターの動作周波数範囲が広くなります。

Technical data

max. operating 
voltage
V

max. stroke

μm

capacitance 

nF

resonance
frequency 
kHz

STr-25/150/6

-30/+150

6

2500

15

オプション: 逆方向の極性
水平に設置した場合の光学部品の最大重量:20g
電気的接続 : BNCコネクタまたはLEMOSA付き1m同軸ケーブル

アクセサリー
ミラーサポートST25(ミラーを接着するためのもの
オプティックアダプターSA 1/2(1/2光学部品の挿入用
1/2光学部品
ミラーマウントAR25/50にシフターを取り付けるためのアダプターリング
その他のサイズのアダプターリング

 
ピエゾ ミラーシフター STr -35
 
 

Technical data

max. operating 
voltage
V

max. stroke

μm

capacitance 

nF

resonance
frequency 
kHz

STr-35/150/6

-30/+150

6

2800

10

ミラーシフターには、ミラーサポートSTが1個付属しています。
水平に設置した場合の光学系の最大重量 40 g
電気的接続
BNCコネクタ付き同軸ケーブル(1m)またはLEMOSA(カタログ「アンプ」参照

アクセサリー:ミラーサポート ST 35 光学アダプター SA 1
アダプターリングAR 35/50