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THzファブリペローエタロン（TFPE）

THzファブリペローエタロン（TFPE）は、高抵抗フロートゾーンシリコンのPlano-Planoプレートで作られた反射面間の距離が固定されたファブリペロー干渉計です。エタロンは、通常の平面ウィンドウよりも優れた平面度と平行度で製造されます。エタロンの厚さは高精度に測定されます。 

使用例
サンプルの厚さを正確に測定するためのTDSシステムプロセスのキャリブレーションは、TFPEの使用例です。実験のセットアップを図に示します。


                                       図1.実験装置


実験には、TFPE透過スペクトルの測定と、回折極大間の距離の決定が含まれます（図2）。その距離とHRFZ-Siの屈折率（3.416）を考慮して、TFPEの厚さを計算できます。

          図2.厚さ3.042 mmで0.5〜1 THz範囲のTFPE透過スペクトル

測定された厚さの値は、品質証明書に記載されているものと同じです。矛盾がある場合は、TDSシステムの調整が必要であることを示しています。 

 

* 0.001 mmの精度で特定のエタロンごとに測定。
**フリースペクトルレンジ（FSR）は、TFPEの縦モード間の周波数オフセットです。自由スペクトル範囲は、FSR = C /（2 * l * n）として計算できます。cは光速、lはTFPEの厚さ、nはHRFZ-Siの屈折率です。
***フィネス（F）は、帯域幅に対する自由スペクトル範囲の比率です（半値全幅、FWHM）。 
フィネス （F）は、 F =（2∙π）/（-ln（R ^ 2））として計算できます  。ここで、RはTFPEの反射係数です。