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オプティカニクス総合取扱製品
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近赤外・赤外検出器 ラインスキャンカメラ 

IRLabs IREM システム


高感度InGaAsベース IREM

IREM-SIL サブミクロンレベルの分解能とイメージング

分解能
検出器/カメラ(総合デュアーアセンブリー)
 当社独自のULNイメージセンサーの中で世界最高のSN比のカメラ
   比類のない信号対雑音比を持つ独自のInGaAsベースのフォーカルプレーンアレイ(FPA)は、業界で最も
   高感度の赤外線放射カメラです。


   当社の高開口数近赤外最適化レンズと組み合わせることで、検出と位置特定が可能になります。
   最も微弱な発光サイトでも、欠陥をより早く正確に示しています。

レンズ
 レンズは潜在的な欠陥を見つけることで比類のない精度を提供します。
    ・1.1µm〜1.6µm
 ・0.3倍マクロレンズ、1倍、10倍、25倍、100倍、LIO、2.8 NA SIL、その他
 ・
最高の透過率と解像度SIL(<150nm)
再現性
レンズスライド、モーションシステムおよび電子機器制御サブシステム 

レンズのスライド

4倍速く、解像度は1桁向上しています。2ポジションまたは3ポジションのレンズスライドを新しい高速、高解像度のクローズドループレンズスライドにアップグレードすることで、関心領域(ROI)を失うことなく、高速で再現性のあるパフォーマンスを実現します。
 ・100nmの解像度。
 ・「静的からパン」 - 静的ガイド画像からの高速で正確なパン。
 ・キネマティックマウントされたセクターは、速いレンズスワップとセクタースワップのオフセット値(同心度)の精度を維持します。
 ・最も一貫性のあるイメージングと最良のレポートのためにレンズ交換後に同じROIに戻ります。
 ・高速レンズスライド移動
 ・将来のSILレンズセクターのアップグレードに備えて。

モーション コントロール システム

ステージと超精密モーションコントロール
このシステム
 はオープンフレームアーキテクチャ を採用しており、移動質量を重心で動かし、残留振動を最小限に抑えて迅速な「インポジション」整定を実現します。高解像度エンコーダは、非常に小さい、制御されたカメラの動きを可能にします。さらに、このシステムは、振動がDUTまたはカメラに伝達されないようにするための、低く十分に減衰された共振周波数を備えた空気式振動絶縁を備えています。 
 ・最高の位置安定性と可能な限り低い長期ドリフトのための8軸。
 ・正確な位置確認のための超低同心度誤差

XYZステージは、透過照明またはイメージング/センシングトランスデューサのセンターマウントを必要とする製造テスト測定および検査アプリケーション向けに特別に設計されています
モーション システム
 ・8軸
 ・超低同心度誤差により正確な位置確認が可能(<0.5µmの再現性)
補助電子機器

レンズ用のこの電源とモーションコントローラにより、時間を節約し、日々の再現性のために品質を向上させます。
Slide:

 ・改良された同心性のための高速、高再現性運動制御
 ・日々の再現性と時間的に安定した照明のために画像の一貫性を維持するためのイルミネータ用の定電流源。
 ・照明の選択のための完全なソフトウェア制御

信頼性
 ・Uptime >97%
 ・一貫したデータ

AIRISソフトウエア
IREM-SILは、当社の高度赤外線放射イメージングソフトウェアであるAIRISによって完全にサポートされています。
 ・CADNavを含むサードパーティソフトウェアへのインタフェース
 ・
業界の意見をもとに14年以上開発

・14年間にわたるIREMの専門知識とお客様の意見に基づいて設計されています。
・もともと天文学的応用のために開発された技術に基づく画像処理機能に基づく
・アルゴリズムは、高精度フラットフィールディングなどのリアルタイム画像調整とともに信号対雑音比の最適化を支援するために、空間分解能と位置特定を向上させます。
・ハードウェア操作はソフトウェアとうまく統合され、最適な結果が得られます。

表示およびイメージング機能 
・大型ダイイメージングの効率を向上させる高度なモザイク機能
・より迅速に問題を発見するためのオーバーレイエミッション画像、照明されたデバイス画像、CADデータ/ポリゴン
・関心領域(ROI) - デバイス領域またはサブフィールドの選択と分析
サブステップ、デコンボリューション、デジタルズーム
より高速で正確な高度なイメージング機能。
後処理ツール

ナビゲーション機能 
・FA /デバッグエンジニア向けに設計されたGUIインタフェース
・CADNav機能によりオーバーレイ設定が容易
・時間を節約し精度を高めるためのより自動化された機能
・スピードとクラッシュの安全性を向上させるためのステージとレンズのスライド制御機能
・パン、絶対移動、相対移動、参照点、点データベース、チッププロファイル
・より速い操作のためのホットキー

IREM-IIは新IREM-SILに置き換えられました。
アップグレードについてはお問合せください。

IREM-III 光子放出顕微鏡システム



IREM-III / 3.0NA SILは、表示領域の4倍以上の高解像度で期待通りの感度を実現します。1280 x 1024のアレイとセルフレベリングSILを組み合わせることで、短時間でより多くのものを見ることができます。
 


 

IREM-IVフォトンエミッション顕微鏡

拡張波長

14 nm Tri-gateおよびFinFETデバイスで0.4 Vddの感度を実証

・3.3NA SILの目的
・5ポジション電動レンズタレット
・1016 x 1016ピクセルの画像
・800〜2500 nmの感度
・デュアル内部冷却フィルターホイール
・電動サンプル傾斜台